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历时6年的研发,荷兰飞纳公司于2018年推出了首套稳定运行的台式场发射(FEG)电镜能谱一体机Phenom LE台式场发射电镜能谱一体机,采用肖特基场发射电子枪(FEG),集背散射电子成像、二次电子成像和能谱分析于一体。飞纳台式场发射电镜操作简单,效率高,无需防震台和磁屏蔽,无楼层要求,只需要一张承重200kg的桌子。
飞纳台式场发射电镜能谱一体机zhuan利腔室设计得到*的探测角度和工作距离,显著提高X射线的收集效率。该能谱采用稳定坚固的超薄Si3N4窗口,透过率在0.26-0.6 KeV低能量范围,是聚合物窗口的2-3倍,适合轻元素检测和低电压能谱分析。全能量范围平均透过率比聚合物窗口高35%,进一步提高了能谱仪的X射线计数率。
仪器特点:
1、高分辨台式场发射电镜:肖特基场发射电子源,分辨率优于2.5nm@15kV
2、zui快的场发射扫描电镜:内置真空锁,15s抽真空,实时导航,全面跟踪样品
3、使用zui方便的场发射电镜:30分钟培训即可上手,无需喷金直接观察不导电样品
4、场发射电镜能谱一体机:原厂集成能谱仪,B(5)-Am(95)元素探测
5、升级功能:飞纳台式场发射电镜能谱一体机可选配所有的样品杯硬件选件,还可选配孔径、颗粒、纤维统计分析测量系统和3D粗糙度重建等软件选件。
Phenom LE台式场发射电镜能谱一体机主要参数:
光学显微镜 | 放大 20-135 倍 |
电镜放大 | zui高 500,000 倍 |
探测器 | 标配背散射电子、二次电子探测器 |
灯丝材料 | 肖特基场发射电子源 |
分辨率 | 优于 2.5 nm@15kV |
放置环境 | 普通实验室或办公室、厂房 |
加速电压 | 2 kV-15 kV 连续可调 |
抽真空时间 | 小于 15 秒 |
探测元素范围 | B(5)- Am(95)号元素 |
能谱探测器 | 硅漂移探测器(SDD) |
输出报告 | DOCX |
冷却方式 | 无液氮 Peltier 效应电制冷 |
X射线分析模式 | 15 kV |
能量分辨率 | <132eV(Mn Kα) |
窗口 | Si3N4 |
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